Oil Free Air Compressor para sa Semiconductor Labs

Upang magtatag ng maaasahang mga linya ng utility para sa mga pasilidad sa pagsasaliksik ng tumpak, mula sa China Oil Free Air Compressor para sa mga supplier ng Semiconductor Labs. Gumagamit ang mga high-purity air solution ng DECHUAN ng multi-layered carbon isolation seal para maalis ang mga bakas na hydrocarbon, na tinitiyak ang malinis na kalidad ng gas para sa kritikal na pag-ukit ng silikon.

Mga Kritikal na Kinakailangan sa Kadalisayan ng Gas sa Cleanroom

Sa semiconductor fabrication at thin-film lithography, kahit isang mikroskopikong patak ng singaw ng langis na dinadala sa linya ng hangin ay maaaring makasira sa isang buong batch ng produksyon. Ang espesyal na produktong ito ay ininhinyero upang matugunan ang ganap na pinakamataas na pamantayan ng kadalisayan:

• TÜV Certified Class 0 Air Delivery: Ang aming mga system ay sumasailalim sa mahigpit na pagsubok sa iba't ibang temperatura ng operating. Kinukumpirma ng independiyenteng pagsusuri ang ganap na zero na bakas ng langis sa output air stream.

• Corrosion-Free Internal Air Paths: Ang bawat piraso ng piping, cooler bundle, at separation matrix sa ibaba ng agos ng compression chamber ay gawa sa premium na hindi kinakalawang na asero upang maiwasan ang mga rust flakes na makontamina ang mga linya ng hangin sa malinis na silid.

• Advanced Elektronikon® Integration: Ang pinagsama-samang controller ay malapit na sumusubaybay sa mga sukatan ng pagpapatakbo at nagtatampok ng mga proactive na pagsasara sa kaligtasan upang matiyak na walang maruming hangin na papasok sa grid ng lab.

Ang Mataas na Halaga ng Micro-Contamination sa Electronics

Sa semiconductor wafer fabrication, ang isang droplet ng oil aerosol ay maaaring makakontamina sa isang buong cleanroom environment, na sumisira sa libu-libong mga silicon wafer at nagdudulot ng milyun-milyong nawawalang oras ng produksyon. Hindi magagarantiyahan ng mga tradisyunal na air compressor ang ganap na zero-hydrocarbon na kadalisayan na kinakailangan para sa mga prosesong ito ng nanometer-scale.

Ginagarantiyahan ng espesyal na Oil Free Air Compressor para sa Semiconductor Labs ang dalisay na seguridad sa proseso:

• Certified CLASS 0 Air Flow: Mahigpit na sinubok ng TÜV sa matinding thermal at pressure range para matiyak ang absolute zero na presensya ng langis.

• Particulate-Free Internals: Ang mga hindi kinakalawang na asero na precooler at star-fin heat exchanger ay nag-aalis ng mga oxidation flakes o chemical shedding sa loob ng daanan ng hangin.

• Electronic Monitoring Shield: Pinipigilan ng mga proactive na alarma sa pagpapanatili at awtomatikong pagsara ng fault ang mga paglihis ng system bago nila maabot ang iyong mga tool sa paglilinis.

Mga Parameter ng Teknikal na Kadalisayan

• System Power Rating: 55kw - 900kw high-density na mga configuration.

• Volumetric na Rate ng Paghahatid: 4.2 - 148.5 m³/min na output ng malinis na stream.

• Pag-uuri ng Nilalaman ng Langis: ISO 8573-1 Class 0 na ganap na walang langis na pagpapatunay.

• Layout ng Paglamig: Hindi kinakalawang na asero na paglamig ng likido na pumipigil sa paglabas ng kemikal.

Ang mga kundisyon ng sangguniang pagganap para sa unit ay sinukat ayon sa Annex C, ika-4 na edisyon (2009) ng ISO 1217:

· Relatibong halumigmig: 0%

· Ganap na inlet pressure: 1 bar

· Temperatura ng pumapasok: 20°C Discharge rate (FAD) ay sinusukat sa mga sumusunod na operating pressure:

Uri ng patuloy na bilis:

·  -7.5 bar na uri: 7 bar

· -8.6 bar uri: 7 bar

· -10 uri ng bar: 9 bar

Uri ng VSD:

· -8.6 bar uri: 7 bar

· -10.4 bar uri: 9 bar

· (2) Class A weighted emission sound pressure level ng workstation (LpWSAd). Sinusukat ayon sa ISO 2151:2004 (gamit ang 150 9614/2 sound intensity scanning method). Ang bagong idinagdag na correction factor ay isang ganap na hindi tiyak na halaga (KpAd), na umaayon sa test code.

· (3) Ang timbang ay para sa sanggunian lamang; ang aktwal na timbang na ibinigay ay mananaig.

ZR/ZT 110-160 (FF) STD

Ayon sa ISO 1217 Annex C, 4th Edition (2009), ang mga kondisyon ng sangguniang pagganap ng unit ay ang mga sumusunod:

· Relatibong halumigmig: 0%

· Ganap na inlet pressure: 1 bar

· Temperatura ng pumapasok: 20°C

Ang Displacement FAD ay sinusukat sa mga sumusunod na operating pressure:

Mga modelo ng patuloy na bilis:

-7.5 bar na mga modelo: 7 bar

-8.6 bar na mga modelo: 7 bar

-10 bar na mga modelo: 9 bar

Mga modelo ng VSD:

-8.6 bar na mga modelo: 7 bar

-10.4 bar na mga modelo: 9 bar

(2) Class A weighted emission sound pressure level ng workstation (LpWSAd). Sinusukat ayon sa ISO 2151:2004 (ISO 9614/2 sound intensity scanning method). Ang bagong idinagdag na kadahilanan sa pagwawasto na KpAd ay hindi sigurado, na sumusunod sa code ng pagsubok.

(3) V1=380V, V2=400V.

(4) Ang timbang ay para sa sanggunian lamang; ang aktwal na timbang ay mananaig.

ZR/ZT 200-275 (FF)

-Relative humidity:0%

-Ganap na inlet pressure: 1bar

-Temperatura ng pumapasok:20°℃

Ang discharge rate (FAD) ay sinusukat sa mga sumusunod na operating pressure

Uri ng patuloy na bilis:

-7.5 bar uri: 7 bar

-8.6 bar uri: 7 bar

-10 uri ng bar: 9 bar

VSDtype:

-8.6 bar uri: 7 bar

-10.4 bar uri: 9 bar

(2) Class A weighted emission sound pressure level ng workstation (LpWSAd).

Sinusukat ayon sa ISO 2151:2004(gamit ang 150 9614/2(paraan ng pag-scan ng intensity ng tunog).

Ang bagong idinagdag na correction factor ay isang ganap na hindi tiyak na halaga (KpAd), na umaayon sa test code.

(3) Ang timbang ay para sa sanggunian lamang; ang aktwal na timbang na ibinigay ay mananaig.

ZR 300-750

Ang mga kundisyon ng sangguniang pagganap para sa unit ay sinukat ayon sa Annex C, ika-4 na edisyon (2009) ng ISO 1217:

· Relatibong halumigmig: 0%

· Ganap na inlet pressure: 1 bar

· Temperatura ng pumapasok: 20°C Discharge rate (FAD) ay sinusukat sa mga sumusunod na operating pressure:

Uri ng patuloy na bilis:

·  -7.5 bar na uri: 7 bar

· -8.6 bar uri: 7 bar

· -10 uri ng bar: 9 bar

Uri ng VSD:

· -8.6 bar uri: 7 bar

· -10.4 bar uri: 9 bar

· (2) Class A weighted emission sound pressure level ng workstation (LpWSAd). Sinusukat ayon sa ISO 2151:2004 (gamit ang 150 9614/2 sound intensity scanning method). Ang bagong idinagdag na correction factor ay isang ganap na hindi tiyak na halaga (KpAd), na umaayon sa test code.

· (3) Ang timbang ay para sa sanggunian lamang; ang aktwal na timbang na ibinigay ay mananaig.

ZR 200X-400X

Ang mga kundisyon ng sangguniang pagganap para sa unit ay sinukat ayon sa Annex C, ika-4 na edisyon (2009) ng ISO 1217:

· Relatibong halumigmig: 0%

· Ganap na inlet pressure: 1 bar

· Temperatura ng pumapasok: 20°C Discharge rate (FAD) ay sinusukat sa mga sumusunod na operating pressure:

Uri ng patuloy na bilis:

·  -7.5 bar na uri: 7 bar

· -8.6 bar uri: 7 bar

· -10 uri ng bar: 9 bar

Uri ng VSD:

· -8.6 bar uri: 7 bar

· -10.4 bar uri: 9 bar

· (2) Class A weighted emission sound pressure level ng workstation (LpWSAd). Sinusukat ayon sa ISO 2151:2004 (gamit ang 150 9614/2 sound intensity scanning method). Ang bagong idinagdag na correction factor ay isang ganap na hindi tiyak na halaga (KpAd), na umaayon sa test code.

· (3) Ang timbang ay para sa sanggunian lamang; ang aktwal na timbang na ibinigay ay mananaig.

Pag-aaral ng Kaso ng Gumagamit ng Cleanroom Laboratory

Isang tagagawa ng electronics sa Asya ang nag-install ng espesyal na air system ng DECHUAN upang magbigay ng high-purity nitrogen-generation loops at pneumatic testing arms. Dati, pinahintulutan ng mga karaniwang compressor ang mga trace oil vapor na lumipat sa mga nakaraang inline na filter, patong ng mga lente ng lithography at nagiging sanhi ng mga micro-fracture sa mga wafer coating. Pagkatapos i-install ang Oil Free Air Compressor para sa Semiconductor Labs, nag-ulat ang lab ng mga zero na insidente ng kontaminasyon sa linya na nauugnay sa langis, na nakakatipid ng malaking gastos sa paglilinis at pag-recalibrate ng cleanroom sa loob ng dalawang taon ng tuluy-tuloy na operasyon.

Custom na Component Tailoring & Control

• Pag-upgrade ng Materyal na Stainless Steel: Pinapalitan namin ang lahat ng karaniwang panloob na bahagi ng cast ng high-grade na hindi kinakalawang na asero upang matugunan ang mahigpit na mga alituntunin sa micro-contamination.

• Mga Advanced na Protocol ng Komunikasyon: Ang unit ay paunang na-load ng mga espesyal na protocol ng komunikasyon, na nagpapahintulot sa mga sentrong pangkontrol ng cleanroom na subaybayan ang mga sukatan ng hangin nang malayuan.

• Compact Structural Footprint: Ang interior layout ay na-optimize upang mabawasan ang footprint, na ginagawang madali ang pag-install sa loob ng masikip na laboratoryo basement utility space.

FAQ ng Mamimili sa Industriya

T: Maaari ba nating direktang ikonekta ang compressor na ito sa ultra-high-purity (UHP) filtration loops?

A: Oo, ang aming air output ay ganap na tugma sa mga advanced na cleanroom desiccant dryer at sub-micron particle filtration system. Dahil ang hilaw na hangin ay naglalaman ng zero oil vapor, ang iyong point-of-use specialized na mga filter ay hindi magiging barado ng oil mist, na magpapahaba ng buhay ng filter.

T: Paano tinitiyak ng mga Z-type na seal ang zero oil migration mula sa gear assembly?

A: Nagtatampok ang Oil Free Air Compressor para sa Semiconductor Labs ng pisikal na atmospheric vent space sa pagitan ng oil-lubricated gear housing at ng dry compression chamber. Ang mga espesyal na non-contact na carbon ring seal ay ipinares sa mga channel ng negatibong presyon, na tinitiyak na ang anumang ambon ng langis ng gear ay ganap na naharangan sa pagpasok sa malinis na daloy ng hangin.

T: Ano ang mangyayari kung ang isang panloob na sensor ng temperatura ay may nakitang abnormal na pagbabasa?

A: Ang Elektronikon® controller ay nagsa-sample ng mahahalagang data nang maraming beses bawat segundo. Kung may matukoy na pagtaas ng temperatura sa anumang yugto, agad na magti-trigger ang system ng isang awtomatikong pagsara at isasara ang mga isolation valve, na tinitiyak na ang hindi malamig na hangin ay hindi kailanman dumadaloy pababa sa mga sensitibong kagamitan ng iyong lab.